Développement d'un nouveau procédé de polissage mécano-chimique d'oxyde de silicium pour les caissons d'isolations de dispositifs microélectroniques.

par Sophia Bourzgui

Thèse de doctorat en Microélectronique

Sous la direction de Agnés Roussy.

Thèses en préparation à Lyon , dans le cadre de Ed Sis 488 , en partenariat avec École nationale supérieure des mines (Saint-Etienne) (établissement opérateur d'inscription) depuis le 20-06-2016 .


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