Une nouvelle méthodologie hybride pour la mesure de rugosités sub-nanométriques

par Jérôme Reche

Projet de thèse en Nano electronique et nano technologies

Sous la direction de Cécile Gourgon.

Thèses en préparation à Grenoble Alpes , dans le cadre de École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble) , en partenariat avec CEA/LETI (laboratoire) depuis le 01-10-2016 .


  • Résumé

    La détermination de la rugosité sub nanométrique sur les flancs des motifs, dont les dimensions critiques atteignent une taille inférieure à 10nm, devient une étape primordiale. Mais à ce jour aucune technique de métrologie n'est suffisamment robuste pour garantir un résultat juste et précis. Une voie actuellement en cours d'exploration pour la mesure dimensionnelle consiste à hybrider différentes techniques de métrologie. Pour ce faire, des algorithmes de fusion de données sont développés afin de traiter les informations issues de multiples équipements de métrologie. Au cours de ces travaux de thèse, cette méthode sera implémentée pour le cas plus complexe de mesure de la rugosité sub-nanométrique en intégrant des techniques adaptées. Le projet inclus bien entendu la partie fusion de données avec les algorithmes liés à notre problématique mais aussi, la création des différents échantillons de référence et la prise de mesures.

  • Titre traduit

    a new hybrid metrology technique for sub-nanometric roughness measurement


  • Résumé

    Roughness at Sub-nanometric scale determination becomes a critical issue, especially for patterns with critical dimensions below 10nm. Currently, there is no metrology technique able to provide a result with high precision and accuracy. A way, based on hybrid metrology, is currently explored and dedicated to dimensional measurements. This hybrid metrology uses data fusion algorithms in order to address data coming from different tools. During this thesis this method will be implemented for more complex tasks of the sub-nanometric roughness determination. Well adapted techniques will be used for this hybrid metrology. The thesis project included the data fusion with the development associated to our problematic but also the design and manufacturing of reference samples to make measurements with each tools.