Caractérisation d'un faisceau de particules issu d'une source plasma. Développement de l'optique ionique d'une colonne à Faisceaux d'Ions Focalisés (FIB). Les applications dédiées.

par Justine Renaud

Projet de thèse en Nanophysique

Sous la direction de Jean-François Roch.

Thèses en préparation à Paris Saclay , dans le cadre de École doctorale Ondes et Matière (2015-.... ; Orsay, Essonne) , en partenariat avec Laboratoire Aimé Cotton (laboratoire) , Nanodiam (equipe de recherche) et de École normale supérieure Paris-Saclay (Cachan, Val-de-Marne) (établissement de préparation de la thèse) depuis le 01-10-2015 .


  • Résumé

    L'objectif de la thèse sera double. Une première partie instrumentale permettra d'améliorer la compréhension des paramètres optiques de la source plasma afin de trouver de nouveaux modes de fonctionnements et d'améliorer les performances de la colonne FIB. Les résultats obtenus pourront être utilisés pour simuler la source plasma et s'affranchir des incertitudes actuelles. Une deuxième partie sera orientée vers la compréhension des interactions ions/matière en utilisant différents types d'ions. De nouvelles applications de la colonne i-FIB pourront être développées telles que la création de défauts ponctuels dans la matière ou la possibilité de doper localement un échantillon.

  • Titre traduit

    Characterization of a particle beam from a plasma source. Development of the ion-optical column to a Focused Ion Beam (FIB). Dedicated applications.


  • Résumé

    The aim of the thesis is twofold. A first instrumental part will improve the understanding of the plasma source optical parameters to find new operating mode and improve the performance of the FIB column. The results can be used to simulate the plasma source and overcome the uncertainties. A second part will be focused towards the understanding of ion/material interactions using different kinds of ions. New applications of i- FIB column can be developed such as the creation of point defects in the material or the possibility of a sample locally dope.