Analyse chimique 3D pour les dispositifs avancés de la microélectronique

par Robert Estivill

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Didier Blavette.

Thèses en préparation à Rouen , dans le cadre de Ecole Doctorale Sciences Physiques, Mathématiques et de l'Information pour l'Ingénieur , en partenariat avec GROUPE DE PHYSIQUE DES MATERIAUX (equipe de recherche) depuis le 12-11-2012 .


  • Pas de résumé en français disponible.


  • Pas de résumé disponible.