Simulation gravure profonde BOSCH (mécanismes Physiques et chimiques)/Amélioration du contenu de l'outil de simulation Gravure profonde PETSI et calibration

par Guillaume LE DAIN

Projet de thèse en Génie des procédés

Sous la direction de Ahmed Rhallabi.

Thèses en préparation à Nantes , dans le cadre de 3M - Matières, Molécules et Matériaux (Nantes) depuis le 15-10-2015 .


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