Developpement d'un magnétomètre miniature vibrant

par Thomas Perrier

Projet de thèse en Electronique et Optoélectronique, Nano- et Microtechnologies

Sous la direction de Johan Moulin.

Thèses en préparation à Paris Saclay , dans le cadre de Electrical,Optical,Bio: PHYSICS_AND_ENGINEERING , en partenariat avec ONERA - Département Physique Environnement Espace (laboratoire) et de Université Paris-Sud (établissement de préparation de la thèse) depuis le 01-10-2015 .


  • Résumé

    L'objectif est de réussir la conception d'un micromagnétomètre d'une résolution de l'ordre du nT. Pour cela, plusieurs défis technologiques sont à relever. Le premier d'entre eux est de réussir à modéliser le comportement viscoélastique de couche mince magnétique. Le second est de réussir à déposer une couche mince magnétique sur une structure vibrante en Quartz (ou tout autre matériau) tout en conservant une bonne adhérence de la couche mince magnétique. Une fois ces point maîtrisés, il faudra déterminer par simulation éléments finis multiphysique la géométrie optimale du résonateur permettant d'atteindre la résolution souhaitée.

  • Titre traduit

    Development of a vibrating micro-magnetometer


  • Résumé

    The goal is to successfully design a magnetometer with a resolution of the order of nT . For this, several technological challenges to be faced. The first of them is how to model the viscoelastic behavior of thin magnetic layer . The second is to successfully deposit a thin magnetic layer on a vibrating structure Quartz ( or other materials ) while retaining good adhesion of the thin magnetic layer . Once mastered these points , it must be determined by simulation multiphysics finite element optimal geometry of the resonator to achieve the desired resolution.