Conception, réalisation et évaluation des performances d'un microgyromètre vibrant triaxial à structure plane en GaAs.

par Adrien Piot

Projet de thèse en Electronique et Optoélectronique, Nano- et Microtechnologies

Sous la direction de Alain Bosseboeuf et de Olivier Le traon.

Thèses en préparation à Paris Saclay , dans le cadre de Electrical,Optical,Bio: PHYSICS_AND_ENGINEERING , en partenariat avec Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (laboratoire) , Microsystèmes et nanobiotechnologies (equipe de recherche) et de Université Paris-Sud (établissement de préparation de la thèse) depuis le 04-01-2015 .


  • Résumé

    Le projet de thèse porte sur la conception, la réalisation et la caractérisation d'un micro-gyromètre 3-axes en GaAs à destination de micro-drones. Le projet de thèse s'articule en 3 grandes parties : -des simulations par éléments finis pour la conception -le développement de procédés micro-technologiques en salle blanche pour la réalisation du capteur -la caractérisation du capteur sur un plateau tournant pour évaluer si les performances mesurées sont conformes à celles attendues.

  • Titre traduit

    Design of a GaAs piezoelectric planar 3-axis Coriolis vibrating microgyroscope


  • Résumé

    This project deals with the design, the realization and the characterization of a micro-gyroscope 3-axes in GaAs which will be embedded on micro-UAVs. This project can be detailed in three main parts which are: -simulations by finite elements for the sensor design -the development of micro-technology processes in clean room to produce the sensor -the characterization of the sensor on rotating tables to compare the performances wanted and the performances measured.