Etude des interfaces métal / oxyde en vue de leurs applications aux mémoires résistives

par Rémi Vallat

Projet de thèse en Nano electronique et nano technologies

Sous la direction de Christophe Vallee.

Thèses en préparation à Grenoble Alpes , dans le cadre de Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS) , en partenariat avec Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (laboratoire) depuis le 01-01-2015 .


  • Résumé

    Développement de procédés de dépôts PEALD, ALD, PECVD et CVD d'oxyde pour application RRAM dans un même réacteur afin d'étudier l'impact du procédés sur ces oxydes. Etudier l'impact des électrodes et des interfaces sur les propriétés électriques des cellules mémoires réalisées. Développement d'un dépôt sélectif pour l'intégration 3D des OxRAMs.

  • Titre traduit

    Study of metal / oxide interfaces for their applications to resistive memories


  • Résumé

    Development of oxide deposition processes in PEALD, ALD, PECVD and CVD modes for RRAM application in the same reactor to study the processes impact on oxides. Study electrodes and interfaces impact on electrical properties of cells memories. Development of selective deposition for OxRAMs 3D integration.