Conception, étude et optimisation de nouvelles sources plasma à la résonance cyclotronique électronique. Application aux dépôts par voie chimique et par pulvérisation

par Mathieu Diers

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Ana Lacoste.

Thèses en préparation à Grenoble , dans le cadre de Physique (Grenoble) , en partenariat avec Laboratoire de Physique Subatomique et Cosmologie (equipe de recherche) .


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