Mise en place d'une technique de caractérisation innovante du dopage pour la microélectronique du futur

par Juan Montana

Projet de thèse en Physique des materiaux

Sous la direction de Pascale (phys) Bayle-guillemaud.

Thèses en préparation à l'Université Grenoble Alpes , dans le cadre de Physique , en partenariat avec CEA Grenoble-LETI (laboratoire) depuis le 05-01-2015 .


  • Résumé

    Au sein du campus Minatec du CEA, le LETI concentre son activité sur les micros et nanotechnologies et leurs applications. Interface privilégiée du monde industriel et de la recherche académique, il assure chaque année le développement et le transfert de technologies innovantes dans des secteurs variés. Dans ce cadre, l'équipe LETI de la plateforme de nanocaractérisation (PFNC) a pour vocation de développer de nouvelles techniques de caractérisation pour les micro et nanotechnologies mais aussi pour les nanomatériaux, les matériaux pour l'énergie avec les équipes du LITEN et de l'INAC ; et de réaliser des caractérisations nécessaires à l'avancement des programmes du CEA et de ses partenaires. La microscopie électronique en transmission (TEM) permet d'observer et d'identifier les éléments et les liaisons chimiques des nanomatériaux et composants jusqu'à l'échelle atomique. La mise en service récente du microscope Titan Ultimate de FEI, aux performances à l'état de l'art mondial, permet d'envisager une plus grande sensibilité dans la détection d'éléments minoritaires comme les dopants utilisés dans les transistors CMOS de la microélectronique et plus particulièrement ceux développés par ST Microelectronics.

  • Titre traduit

    "Development of an innovative technique for dopants characterization at the nanometer scale for advanced microelectronics"


  • Résumé

    Within the Minatec Campus, CEA-LETI focuses its activity on micro and nanotechnologies and their applications. Closely linked to the industry and the academic research, it ensures the development and transfer of innovative technologies in various fields every year. In this context, the LETI Nano characterization platform (PFNC) group aims to develop new characterization techniques for micro and nanotechnology but also for nanomaterial, materials for energy with LITEN and INAC groups, and perform characterization needed to support programs of the CEA and its partners. The scanning transmission electron microscopy (STEM) associated with the technique of electron energy loss spectroscopy (EELS) is used to identify the chemical elements and bonding of nanomaterial and components at the atomic scale. The recent acquisition of an FEI Titan Ultimate microscope, with performances at the state of the art, offers the prospect of greater sensitivity in the detection of minority elements as dopants used in CMOS transistors using STEM/EELS. Some dopants are nevertheless difficult to measure; the subject will focus on the implementation of EELS innovative techniques to meet this challenge.