Nouveaux MEMS C-BAR : résonateurs capacitifs à ondes élastiques de volume piégées sur substrat Silicium.

par Nesrine Belkadi

Thèse de doctorat en Sciences et technologie industrielles

Sous la direction de Bernard Dulmet et de Thomas Baron.

Thèses en préparation à Besançon , dans le cadre de ED 37 - Sciences physiques pour l'ingénieur et microtechniques , en partenariat avec Institut FEMTO-ST: Franche-Comté électronique mécanique thermique et optique - sc et technologies (equipe de recherche) depuis le 11-12-2012 .


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