Résultats 1 à 10

Dates de soutenance :


Etablissements :

Valider et fermer
  • Université Grenoble Alpes (ComUE) (14)
  • Grenoble (11)
  • Mulhouse (6)
  • Lyon (5)
  • Aix-Marseille (2)
  • 239 - Korea University (1)
  • Bourgogne Franche-Comté (1)
  • Cachan, Ecole normale supérieure (1)
  • Clermont Auvergne (1)
  • Grenoble 1 (1)
  • National Chiao Tung University, Department of Photonics (Hsinchu, Taiwan) (1)
  • Paris Est (1)
  • Paris, ENSAM (1)
  • Reims (1)
  • Toulouse 3 (1)
  • Université Paris-Saclay (ComUE) (1)
  • Université de Sherbrooke (Québec, Canada) (1)

Etablissements :

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Disciplines :

Valider et fermer
  • Nano electronique et nano technologies (6)
  • Sciences et technologie industrielles (5)
  • Nanophysique (4)
  • Nanoélectronique et nanotechnologie (4)
  • Chimie Physique (3)
  • Physique (3)
  • Chimie physique (2)
  • Micro et nanoélectronique (2)
  • Microélectronique (2)
  • Physique et sciences de la matière. Matière condensée et nanosciences (2)
  • Biotechnologie, instrumentation, signal et imagerie pour la biologie, la médecine et l'environnement (1)
  • Chimie organique, minérale, industrielle (1)
  • Chimie-physique (1)
  • Electronique, micro et nano-électronique, optique et laser (1)
  • Mécanique-matériaux (1)
  • Nanoélectronique et nanotechnologie (1)
  • Nanoélectronique et nanotechnologies (1)
  • Optique non linéaire (1)
  • Photonique et systèmes optoélectroniques (1)
  • Physique pour les sciences du vivant (1)
  • Sciences de la vie et de la sante (1)
  • Sciences et ingénierie des matériaux (1)
  • Sciences physiques (1)
  • Sciences pour l'Ingénieur (1)

Disciplines :

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Ecoles Doctorales :

Valider et fermer
  • École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble) (17)
  • École doctorale physique (Grenoble) (6)
  • École doctorale Physique et chimie-physique (Strasbourg ; 1994-....) (3)
  • École doctorale pluridisciplinaire Jean-Henri Lambert, ED 494 (Mulhouse) (3)
  • École doctorale Électronique, électrotechnique, automatique (Lyon) (3)
  • Ecole Doctorale Physique et Sciences de la Matière (Marseille) (2)
  • École doctorale Sciences Ingénierie Santé (Saint-Etienne) (2)
  • Ecole doctorale Sciences, technologies, santé (Reims, Marne) (1)
  • École doctorale Electrical, optical, bio-physics and engineering (Orsay, Essonne ; 2015-....) (1)
  • École doctorale Génie électrique, électronique et télécommunications (Toulouse) (1)
  • École doctorale Ingénierie - matériaux mécanique énergétique environnement procédés production (Grenoble) (1)
  • École doctorale Sciences des métiers de l'ingénieur (Paris) (1)
  • École doctorale Sciences et Ingénierie, Matériaux, Modélisation et Environnement (Champs-sur-Marne, Seine-et-Marne) (1)
  • École doctorale Sciences pour l'ingénieur et microtechniques (Besançon ; Dijon ; Belfort) (1)
  • École doctorale Sciences pratiques (1998-2015 ; Cachan, Val-de-Marne) (1)
  • École doctorale des sciences de la vie, santé, agronomie, environnement (Clermont-Ferrand) (1)
  • École doctorale ingénierie pour la santé, la cognition, l'environnement (Grenoble) (1)

Ecoles Doctorales :

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Langues :

Valider et fermer
  • français (29)
  • anglais (18)

Langues :

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Directeurs de thèse :

Valider et fermer
  • Soppera Olivier (5)
  • Ernst Thomas (3)
  • Bano Edwige (2)
  • Schanen Duport Isabelle (2)
  • Argoud Maxime (1)
  • Arguel Philippe (1)
  • Ben Bakir Badhise (1)
  • Berger François (1)
  • Berling Dominique (1)
  • Bleuet Pierre (1)
  • Boussey Jumana (1)
  • Brissaud Daniel (1)
  • Caille Céline (1)
  • Canva Michael (1)
  • Charles Jean-Luc (1)
  • Chevolot Yann (1)
  • Constancias Christophe (1)
  • Coqueret Xavier (1)
  • Courtois Hervé (1)
  • Cristoloveanu Sorin (1)
  • De Franceschi Silvano (1)
  • De Salvo Barbara (1)
  • Deneuville Alain (1)
  • Dubowski Jan J. (1)
  • Duraffourg Laurent (1)
  • Favre Luc (1)
  • Fehrembach Anne-Laure (1)
  • Gamet Emilie (1)
  • Ghibaudo Gérard (1)
  • Gourgon Cécile (1)
  • Grosso David (1)
  • Hentz Sébastien (1)
  • Inglebert René-Louis (1)
  • Iordanoff Ivan (1)
  • Jourdan Guillaume (1)
  • Jourlin Yves (1)
  • Leblois Thérèse (1)
  • Leclercq Jean-Louis (1)
  • Ledoux-Rak Isabelle (1)
  • Letartre Xavier (1)
  • Liu Tsu-Jae King (1)
  • Mailhot-Jensen Bénédicte (1)
  • Malliaras Georges (1)
  • Mangelinck Dominique (1)
  • Montès Laurent (1)
  • Pain Laurent (1)
  • Pargon Erwine (1)
  • Pereira-Ramos Jean-Pierre (1)
  • Pernot Julien (1)
  • Possémé Nicolas (1)
  • Roge-Goguelet Barbara (1)
  • Sautou Valérie (1)
  • Schiavone Patrick (1)
  • Seassal Christian (1)
  • Spangenberg Arnaud (1)
  • Stambouli-Sené Valérie (1)
  • Tortai Jean-Hervé (1)
  • Villard Catherine (1)
  • Wernsdorfer Wolfgang (1)
  • Zan Hsiao Wen (1)

Directeurs de thèse :

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Domaines :

Valider et fermer
  • Sciences de l'ingénieur (26)
  • Physique (14)
  • Chimie, minéralogie, cristallographie (7)
  • Sciences de la vie, biologie, biochimie (2)
  • Médecine et santé (2)
  • Informatique (1)

Domaines :

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47 thèses pour DUV photolithography

Chimie physique

Soutenue le 28-09-2010
thèse soutenue

...Nanopatterning of Plasma Polymer Thin Films by ArF Photolithography: . . .Figure 2. Effect of DUV irradiation (900m...

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...technological processes of fabrication applied to photolithography, − the various types of materials commonly...

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...-patterning techniques including DUV lithography, EUV lithography, and e-beam lithography, have been demonstrated.[11...

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.... Levenson, N. S. Viswanathan, and R. A. Simpson, “Improving resolution in pho-tolithography with a phase...

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