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Dates de soutenance :


Etablissements :

Valider et fermer
  • Université Grenoble Alpes (ComUE) (3)
  • Grenoble (2)
  • Université Paris-Saclay (ComUE) (2)
  • Tsinghua University (Pékin) (1)

Etablissements :

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Disciplines :

Valider et fermer
  • Nano electronique et nano technologies (2)
  • Nanoélectronique et nanotechnologie (2)
  • Physique des accélérateurs (2)
  • Sciences et technologie industrielles (1)

Disciplines :

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Ecoles Doctorales :

Valider et fermer
  • École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble) (5)
  • École doctorale Particules, Hadrons, Énergie et Noyau : Instrumentation, Imagerie, Cosmos et Simulation (Orsay, Essonne ; 2015-....) (2)

Ecoles Doctorales :

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Langues :

Valider et fermer
  • français (5)
  • anglais (2)

Langues :

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Directeurs de thèse :

Valider et fermer
  • Vallée Christophe (2)
  • Cunge Gilles (1)
  • Inglebert René-Louis (1)
  • Lépy Marie-Christine (1)
  • Noé Pierre (1)
  • Tang Chuanxiang (1)
  • Vallée Christophe (1)
  • Zomer Fabian (1)

Directeurs de thèse :

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Domaines :

Valider et fermer
  • Sciences de l'ingénieur (6)
  • Physique (2)
  • Chimie, minéralogie, cristallographie (1)

Domaines :

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7 thèses pour "Ultra Clean Vacuum"

...’ultravide traditionnel (UHV) n’est donc pas une solution. Pour la lithographie EUV, un environnement d’Ultra Clean Vacuum...

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.... Joubert. XPS analysis withan ultra clean vacuum substrate carrier for oxidation and airborne molecular...

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..., E. Godot, E. Veran, V. Loup, and O. Joubert, “XPS analysis with an ultra clean vacuum substrate...

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