Résultats 1 à 10

Dates de soutenance :


Etablissements :

Valider et fermer
  • Université Grenoble Alpes (ComUE) (5)
  • Grenoble (4)
  • Tours (3)
  • Ecole centrale de Lille (2)
  • Limoges (2)
  • Lyon (2)
  • Université Paris-Saclay (ComUE) (2)
  • Besançon (1)
  • Ecully, Ecole centrale de Lyon (1)
  • Lille 1 (1)
  • Lyon, INSA (1)
  • Nantes (1)
  • Sorbonne université (1)
  • Toulouse 3 (1)
  • Université Grenoble Alpes (1)
  • Valenciennes (1)
  • École Doctorale des Sciences et de Technologie (Beyrouth) (1)

Etablissements :

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Disciplines :

Valider et fermer
  • Sciences et technologie industrielles (4)
  • Electronique (2)
  • Nano electronique et nano technologies (2)
  • Nanoélectronique et nanotechnologie (2)
  • Physique (2)
  • Chimie moléculaire (1)
  • Electronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique (1)
  • Electronique des Hautes Fréquences, Photonique et Systèmes (1)
  • Electronique et Optoélectronique, Nano- et Microtechnologies (1)
  • Electronique et optoélectronique, nano- et microtechnologies (1)
  • Electronique, micro et nano-electronique, optique et laser (1)
  • Electronique, micro et nano-électronique, optique et laser (1)
  • Micro et Nano technologies, Acoustique et Télécommunications (1)
  • Micro et Nanotechnologies,acoustique et télécommunications (1)
  • Micro et nano technologies, acoustique et télécommunications (1)
  • Microélectronique, microsystèmes, micro ondes (1)
  • Mécanique des fluides Energétique, Procédés (1)
  • Mécanique et matériaux (1)
  • Nanoélectronique et nanotechnologie (1)
  • Plasmas froids (1)
  • Sciences pour l'ingénieur (1)
  • Électronique. Acoustique et télécommunications (1)

Disciplines :

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Ecoles Doctorales :

Valider et fermer
  • École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble) (8)
  • École doctorale Électronique, électrotechnique, automatique (Lyon) (4)
  • École doctorale Sciences pour l'Ingénieur (Lille) (3)
  • École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire) (3)
  • École doctorale Electrical, optical, bio-physics and engineering (Orsay, Essonne ; 2015-....) (2)
  • École doctorale Sciences et ingénierie pour l'information, mathématiques (Limoges ; 2009-2018) (2)
  • École doctorale Chimie moléculaire de Paris Centre (Paris) (1)
  • École doctorale Ingénierie - matériaux mécanique énergétique environnement procédés production (Grenoble) (1)
  • École doctorale Matière, Molécules et Matériaux (Le Mans) (1)
  • École doctorale Sciences pour l'ingénieur et microtechniques (Besançon ; Dijon ; Belfort) (1)
  • École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (1)

Ecoles Doctorales :

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Langues :

Valider et fermer
  • français (29)

    Langues :

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    Directeurs de thèse :

    Valider et fermer
    • Joubert Olivier Pierre Etienne (4)
    • Blondy Pierre (2)
    • Chatras Matthieu (2)
    • Gautier Gaël (2)
    • Lemiti Mustapha (2)
    • Pernod Philippe (2)
    • Ajaka Michel (1)
    • Alquier Daniel (1)
    • Ayela Frédéric (1)
    • Baron Thomas (1)
    • Billoue Jérôme (1)
    • Bsiesy Ahmad (1)
    • Campistron Pierre (1)
    • Cardinaud Christophe (1)
    • Carlier Julien (1)
    • Crunteanu-Stànescu Aurelian (1)
    • Cunge Gilles (1)
    • Dalmay Claire (1)
    • Despiau-Pujo Emilie (1)
    • Dulmet Bernard (1)
    • Ernst Thomas (1)
    • Fensterbank Louis (1)
    • Girard Aurélie (1)
    • Halbwax Mathieu (1)
    • Marris-Morini Delphine (1)
    • Martincic Emile (1)
    • Merlen Alain (1)
    • Nassar Georges (1)
    • Ognier Stéphanie (1)
    • Orobtchouk Régis (1)
    • Plana Robert (1)
    • Pons Patrick (1)
    • Possémé Nicolas (1)
    • Poveda Patrick (1)
    • Preobrazhensky Vladimir (1)
    • Schaeffer Christian (1)
    • Sion Cathy (1)
    • Talbi Abdelkrim (1)
    • Tougui Abdellah (1)
    • Viktorovitch Pierre (1)
    • Vilcot Jean-Pierre (1)

    Directeurs de thèse :

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    Domaines :

    Valider et fermer
    • Sciences de l'ingénieur (24)
    • Physique (3)
    • Bibliothéconomie et sciences de l'information (1)
    • Chimie, minéralogie, cristallographie (1)
    • Technologie (Sciences appliquées) (1)
    • Fabrication industrielle (1)

    Domaines :

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    29 thèses pour "Gravure de silicium"

    ...même raison que pour le silicium (disponibilitéde radicaux accrue). Puisque la gravure de silicium...

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    Microélectronique, microsystèmes, micro ondes

    Soutenue en 2005
    thèse soutenue

    ...................................................................................................... 34 FIGURE I. 11 : SCHEMATISATION DE LA TECHNIQUE DE GRAVURE DE SILICIUM + IMAGE MEB DES TROUS...

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    Electronique, micro et nano-électronique, optique et laser

    Soutenue le 18-12-2014
    thèse soutenue

    ...différentes méthodes de gravure de silicium avec ou sans masque dur est faite. Ensuite, la définition des...

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    .... Il est basé sur une séquence de gravure de silicium par plasma SF6 suivie d’une phase de passivation...

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    ...´liminaires avec une sous-gravure de silicium 3 µm ont e´te´ re´alise´s. Cespremiers e´chantillons devaient nous...

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    ...développement d’un procédé de gravure profonde est l’obtention de vitesses de gravure de silicium élevées...

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    Électronique. Acoustique et télécommunications

    Soutenue le 28-09-2012
    thèse soutenue

    ...degravure sèche qui est très utilisée en microtechnologie pour la gravure de silicium. Elle utilise le...

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    Electronique et Optoélectronique, Nano- et Microtechnologies

    Soutenue le 11-07-2017
    thèse soutenue

    ...Øsine a ØtØ gravØ sur 7,6 m pour une gravure de silicium ThŁse de doctorat de Z. SHI Micro...

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