Dépôts PECVD de composés de silicium sur polymères : étude de la première phase des dépôts
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Auteur / Autrice : | Gilles Dennler |
Direction : | Yvan Ségui, Michael R. Wertheimer |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Physique et ingénierie des plasmas. Génie physique |
Date : | Soutenance en 2002 |
Etablissement(s) : | Toulouse 3 en cotutelle avec Montréal |