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Thèse soutenue

Conception et réalisation d'une matrice de microéjecteur thermique adressable individuellement pour la fonctionnalisation de biopuce

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Auteur / Autrice : David Jugieu
Direction : Anne-Marie Gué
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Génie électrique, électronique et télécommunications
Date : Soutenance en 2005
Etablissement(s) : Toulouse, INPT

Résumé

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Cette thèse porte sur la conception et la réalisation d'un microsystème d'éjection matriciel monolithique pour la fonctionnalisation in-situ des puces à ADN. Le principe s'inspire du jet d'encre thermique mais l’originalité vient du fait que les éjecteurs sont disposés de façons matricielle avec une très grande densité et sont actionnables individuellement. La structure retenue intègre une résistance chauffante sur une membrane diélectrique et une buse d'éjection réalisée en résine photosensible Su8. Ces caractéristiques permettent d'atteindre localement des températures suffisamment élevées pour provoquer une ébullition localisée autour de la buse déjection. Un procédé technologique original a été mis au point pour intégrer le dispositif d’adressage à cette résistance. Les matrices réalisées ont été caractériésées électriquement et thermiquement ; il a été ainsi montré que l’adressage est opérationnel, la puissance thermique offerte est suffisante pour l’éjection