Elaboration de couches minces de tantale par dépôt chimique à partir de la phase vapeur TaCl5-H2 et caractérisations structurales et anti-corrosionbTexte imprimé

by Alexandra Levesque

Doctoral thesis in Sciences. Génie des procédés. Sciences des matériaux

Under the supervision of Anne Bouteville.

defended on 2002

in Paris, ENSAM .

  • Alternative Title

    Development of tantalum thin films by chemical vapor déposition from the gazeous phase TaCl5-H2 and characterizations structural and anti-corrosion


  • Abstract not available

Consult library

Version is available as a paper

Informations

  • Details : 1 vol. (233 f.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. 140 réf.

Where is this thesis?