Elaboration de couches minces de tantale par dépôt chimique à partir de la phase vapeur TaCl5-H2 et caractérisations structurales et anti-corrosionbTexte imprimé

by Alexandra Levesque

Doctoral thesis in Sciences. Génie des procédés. Sciences des matériaux

Under the supervision of Anne Bouteville.

defended on 2002

in Paris, ENSAM .

  • Titre traduit

    Development of tantalum thin films by chemical vapor déposition from the gazeous phase TaCl5-H2 and characterizations structural and anti-corrosion


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Informations

  • Details : 1 vol. (233 f.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. 140 réf.

Where is this thesis?

  • Bibliothèque : Arts et Métiers ParisTech. Centre d'enseignement et de recherche. Bibliothèque.
  • Disponible pour le PEB
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