Etude et élaboration de dépôts à base de chrome par pulvérisation cathodique magnétron

Study and realization of chromium based coatings by cathodic magnetron sputtering

• Auteur / Autrice : Hatim Moussaoui
• Direction : Jean Machet
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Matériaux céramiques et traitements de surface
• Date : Soutenance en 1998
• Etablissement(s) : Limoges
• Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques

Mots clés

Mots clés contrôlés

Magnétrons

Pulvérisation cathodique

Dépôt en phase vapeur

Résumé

L'etude et la realisation des depots a base de chrome par pulverisation cathodique magnetron font l'objet de ce travail. En ce qui concerne les depots de chrome, l'evolution de la texture en fonction de la pression d'argon, et de la temperature des substrats a ete etudie. Cette evolution etant nettement differente de celle que predisent les lois thermodynamiques, la prise en compte d'autres phenomenes, en particulier des contraintes, a ete necessaire. La partie la plus importante du travail se rapporte a l'etude des depots de nitrure de chrome. L'influence de la pression partielle d'azote sur la composition et la structure des couches a ete mise en evidence. L'evolution des proprietes mecaniques (microdurete, resistance a l'usure) a aussi ete etudie. Des que les depots sont stoechiometriques en azote, la resistance a l'usure semble maximale. Le bombardement ionique de la couche en croissance, obtenue en polarisant negativement les substrats, permet aussi d'optimiser les proprietes des couches. La troisieme partie consacre a la realisation de depots ternaires (cr, n, o) montre qu'il semble difficile d'obtenir une phase cro#xn#y bien definie. Cependant, la mise en evidence d'une zone de transition ou apparait une phase mal definie semble interessante et prometteuse.