Etude de la structure et des nanorugosités interfaciales de multicouches rayons x par traitement numérique de micrographies électroniques : lien avec leurs propriétés optiques

by Marc-Olivier Flaissier

Doctoral thesis in Optique

Under the supervision of Georges Rasigni.

defended on 1997

in Aix-Marseille 3 .

  • Alternative Title

    Study of structure and interfacial roughness of extreme ultraviolet- (euv-) multilayered interferential mirrors (mims) by computer processing of electron microscope cross-sections of mims : relevance to their euv optical properties


  • Abstract not available


  • Abstract

    Le travail presente s'inscrit dans le cadre de la caracterisation des multicouches rayons x. Il a consiste en la mise au point d'une methodologie originale associant traitement d'image et microscopie electronique, et permettant d'acceder directement a la structure des empilements x-uv. Sous l'hypothese d'existence d'interfaces abruptes, des operations de filtrage et de segmentation ont permis de definir des profils d'interface sur les micrographies electroniques numerisees de sections de multicouches. Il a alors ete possible de determiner la structure des empilements de molybdene/carbone et de nickel/carbone (evolution de la periode et du parametre de division) mais aussi de caracteriser les interfaces (ecart quadratique moyen des hauteurs #h, longueur de correlation l#c, rapport #h/l#c). A partir du modele d'abeles et en utilisant les parametres estimes par traitement d'image des micrographies electroniques, les simulations des comportements optiques x-uv ont ete effectuees dans le domaine speculaire. Leur comparaison avec les enregistrement experimentaux a montre un tres bon accord a 13,33 a. Des resultats tres satisfaisants ont aussi ete obtenus a 1,54 a.

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Informations

  • Details : 236 p

Where is this thesis?

  • Library : Université d'Aix-Marseille (Marseille. Saint-Jérôme). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Available for PEB
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  • Odds : T 2500/A-B
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