Théorie électromagnétique de la diffraction cônique par des réseaux multicouches à profil, permittivité et profondeur arbitraires

Electromagnetic theory of the conical diffraction by multilayered gratings with arbitrary profile, permittivity and depth

• Auteur / Autrice : Frédéric Montiel
• Direction : Michel Nevière
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : État condensé. Optique électromagnétique
• Date : Soutenance en 1996
• Etablissement(s) : Aix-Marseille 1

Mots clés

Mots clés contrôlés

Ondes électromagnétiques -- Diffraction

Résumé

Lorsque l'on traite numeriquement (methode differentielle, modale. . . ) et rigoureusement (theorie electromagnetique), la diffraction par des reseaux dielectriques ou metalliques profonds et tres absorbants, avec des structures complexes (profils variant plus d'une fois sur la periode, profils s'interpenetrant. . . ), des problemes de divergence apparaissent inevitablement. Pour contourner ces instabilites numeriques, il existe des algorithmes matriciels iteratifs performants tels que les algorithmes de propagation r et s. Ainsi, apres en avoir decrit les principales lignes et proprietes, on met en evidence toute cette puissance nouvellement apportee au travers de quelques applications jusqu'a ce jour irresolues. Il est par exemple question de zones de fresnel lineaires, de multi-puits quantiques pour la modulation infrarouge, de reseaux echelettes d'angle de blaze eleve, ou de photolithogravure (incidence de littrow ou incidence normale)