Mesure interferometrique directe de l'indice de refraction dans le domaine des rayons x mous

by JAN SVATOS

Doctoral thesis in Physique

Under the supervision of D. JOYEUX.

defended on 1994

in Paris 11 .

  • Alternative Title

    Direct interferometric measurement of the refractive index for soft x-rays


  • Abstract not available

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  • Abstract

    L'objectif principal de ce travail est de demontrer que le progres des sources des rayons x rend possible des methodes de mesure faisant appel a la phase et pas seulement a l'intensite du champ, et que l'utilisation de la coherence spatiale permet d'envisager des techniques d'instrumentation nouvelles dans ce domaine des longueurs d'onde. Un interferometre a miroirs de fresnel a ete etudie et construit dans le but d'effectuer une mesure exacte de l'indice de refraction. Le principe de la methode consiste en la mesure d'un deplacement des franges d'interference periodiques, provoque par l'insertion d'un echantillon. Le fonctionnement de l'interferometre est demontre sur le seuil k du carbone (4. 4 nm) sur un echantillon en photoresist. Le deplacement des franges est mesure actuellement avec une precision de cinq pourcent de la periode, ce qui resulte en une determination de l'indice a dix pourcent pres. Un systeme de mesure en temps reel a ete developpe. Il permet de rendre les mesures plus exactes et rapides. L'avantage principal de la methode est que la mesure n'est pas perturbee par l'absorption. La plus grande difficulte reside dans la fabrication de l'echantillon, de la forme d'un rectangle de 1 par 5 mm au minimum et d'une epaisseur micrometrique. La mesure des structures fines de l'indice au voisinage du seuil est en perspective

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Informations

  • Details : 134 P.
  • Annexes : 54 REF.

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  • Library : Université Paris-Sud (Orsay, Essonne). Service Commun de la Documentation. Section Sciences.
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  • Library : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
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  • Odds : TH2014-011994
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