Thèse soutenue

Contribution à l'étude fondamentale de la pulvérisation cathodique magnétron réactive : application à la réalisation de couches minces de nitrure de titane

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Auteur / Autrice : Laurette Combadière
Direction : Jean Machet
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Électrotechnique
Date : Soutenance en 1992
Etablissement(s) : Limoges
Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques

Mots clés

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Mots clés contrôlés