Contribution à l'étude fondamentale de la pulvérisation cathodique magnétron réactive : application à la réalisation de couches minces de nitrure de titane
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Auteur / Autrice : | Laurette Combadière |
Direction : | Jean Machet |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Électrotechnique |
Date : | Soutenance en 1992 |
Etablissement(s) : | Limoges |
Partenaire(s) de recherche : | autre partenaire : Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques |
Mots clés
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