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des thèses françaises
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Étude et applications d'un générateur à plasma
| Auteur / Autrice : | Isabelle Frère |
| Direction : | Jacques Menet |
| Type : | Thèse de doctorat |
| Discipline(s) : | Instrumentation et mesures |
| Date : | Soutenance en 1992 |
| Etablissement(s) : | Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015) |
| Partenaire(s) de recherche : | Laboratoire : Institut des sciences nucléaires (Grenoble, Isère, France ; 1967-2003) |
Résumé
Etude et applications d'un generateur a plasma. Le but de travail presente est l'etude d'un generateur a plasma. Celui-ci est une cathode de forme cylindrique ou parallelepipedique rectangle, baignee par un champ magnetique de quelques centaines de gauss, cree par un aimant permanent. Le plasma engendre est un plasma froid, plasma de decharge luminescente anormale. Il est a rapprocher de ceux produits par une decharge en cathode creuse ou en magnetron creux. L'influence de la variation de certains parametres (geometrie de la cathode, pression du gaz plasmagene, intensite du champ magnetique. . . ) sur le fonctionnement de la decharge est presentee. Une autre partie du rapport est consacree a la presentation d'applications du generateur a differents traitements de surface: depots metalliques par evaporation et par pulverisation, decharge ionique, traitement des materiaux plastiques par plasma