Etude de la reponse au ph du nitrure de silicium en vue de la realisation de capteurs microelectroniques
FR |
EN
Auteur / Autrice : | Christophe Lefevre |
Direction : | COSTES, Daniel Estève |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Chimie |
Date : | Soutenance en 1989 |
Etablissement(s) : | Toulouse 3 |
Mots clés
FR
Mots clés libres
Chimie
Chimie generale et physique
Capteur mesure
Dispositif semiconducteur
Fabrication microelectronique
Encapsulation
Test
Caracterisation
Electrode specifique
Ph
Interface electrode electrolyte
Silicium nitrure
Preparation
Measurement sensor
Semiconductor device
Microelectronic fabrication
Encapsulation
Test
Characterization
Ion selective electrode
Ph
Electrode electrolyte interface
Silicon nitrides
Preparation
Résumé
FR
L'etude porte sur le processus d'elaboration des composants, la physique des dispositifs, leur encapsulation et les moyens mis en uvre pour les tester et les caracteriser. La deuxieme partie du travail presente les resultats experimentaux relatifs a l'etude de la sensibilite au ph, la stabilite temporelle et la degradation electrique