TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2019GREAT011
TI  - Analyse par XPS d'empilements High-K Metal Gate de transistors CMOS et corrélation des décalages d'énergie de liaison aux tensions de seuil
AU  - Fontaine, Charly
A3  - Chevolleau, Thierry
PY  - 2019
N1  - Thèse de doctorat Nano electronique et nano technologies Université Grenoble Alpes (ComUE) 2019
N1  - 2019GREAT011
UR  - http://www.theses.fr/2019GREAT011/document
ER  -