TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2019GREAI075
TI  - Etude d'un procédé de dépôt de cuivre par MOCVD pour la réalisation de vias traversants à fort facteur de forme pour l'intégration 3D
AU  - Fadloun, Sabrina
A3  - Blanquet, Elisabeth
PY  - 2019
N1  - Thèse de doctorat Matériaux, Mécanique, Génie civil, Electrochimie Université Grenoble Alpes (ComUE) 2019
N1  - 2019GREAI075
UR  - http://www.theses.fr/2019GREAI075/document
ER  -