@PHDTHESIS{verbr2019, url = "http://www.theses.fr/2019DUNK0527", title = "Lithographie optique, dépôts de films minces de tungstène et trioxyde de tungstène dédiés aux capteurs de gaz semiconducteurs", author = "Verbrugghe, Nathalie", year = "2019", note = "Thèse de doctorat dirigée par Fasquelle, Didier Électronique, Science des matériaux Littoral 2019", note = "2019DUNK0527", url = "http://www.theses.fr/2019DUNK0527/document", }