TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2019CSUP0015
TI  - Croissance de films minces piézoélectriques de ScxAl1-xN par pulvérisation cathodique pour la réalisation de dispositifs à ondes élastiques confinées, destinés à des applications haute-température
AU  - Bartoli, Florian
A3  - Aubert, Thierry
PY  - 2019
N1  - Thèse de doctorat Physique CentraleSupélec 2019
N1  - 2019CSUP0015
UR  - http://www.theses.fr/2019CSUP0015/document
ER  -