TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2018SACLS127
TI  - Etude de l'intégration d'un composant capacitif pour la modulation haut débit et basse consommation dans une plateforme photonique sur silicium
AU  - Douix, Maurin
A3  - Marris-Morini, Delphine
PY  - 2018
N1  - Thèse de doctorat Electronique et Optoélectronique, Nano- et Microtechnologies Université Paris-Saclay (ComUE) 2018
N1  - 2018SACLS127
UR  - http://www.theses.fr/2018SACLS127/document
ER  -