@PHDTHESIS{Piot2018, url = "http://www.theses.fr/2018SACLS059", title = "Etude de la fabrication et de la transduction d'un microgyromètre piézoélectrique tri-axial en GaAs", author = "Piot, Adrien", year = "2018", note = "Thèse de doctorat dirigée par Bosseboeuf, Alain Electronique et Optoélectronique, Nano- et Microtechnologies Université Paris-Saclay (ComUE) 2018", note = "2018SACLS059", url = "http://www.theses.fr/2018SACLS059/document", }