@PHDTHESIS{borre2017,
url = "http://www.theses.fr/2017LIL10017",
title = "Innovative contact technology for CMOS FDSOI 10 nm and below",
author = "Borrel, Julien",
year = "2017",
note = "Thèse de doctorat dirigée par Dubois, EmmanuelHutin, Louis et Grégoire, Magali Micro et nanotechnologies, acoustique et télécommunications Lille 1 2017",
note = "2017LIL10017",
url = "http://www.theses.fr/2017LIL10017/document",
}