@PHDTHESIS{payet2017,
url = "http://www.theses.fr/2017GREAY034",
title = "Modélisation physique des procédés de fabrication des jonctions FDSOI pour le nœud 10 nm et en-deçà",
author = "Payet, Anthony",
year = "2017",
note = "Thèse de doctorat dirigée par Gergaud, Patrice et Martin-Bragado, Ignacio Physique des matériaux Université Grenoble Alpes (ComUE) 2017",
note = "2017GREAY034",
url = "http://www.theses.fr/2017GREAY034/document",
}