@PHDTHESIS{Wu2016,
url = "http://www.theses.fr/2016SACLS240",
title = "Etude et intégration de films getter pour le packaging sous vide à basse température de résonateurs à quartz",
author = "Wu, Ming",
year = "2016",
note = "Thèse de doctorat dirigée par Moulin, Johan Electronique et Optoélectronique, Nano et Microtechnologies Université Paris-Saclay (ComUE) 2016",
note = "2016SACLS240",
}