@PHDTHESIS{fouch2016, url = "http://www.theses.fr/2016PA066278", title = "Dynamique des plasmas radio-fréquence à couplage inductif en gaz halogénés simples", author = "Foucher, Mickaël", year = "2016", note = "Thèse de doctorat dirigée par Booth, Jean-Paul et Indelicato, Paul Physique des plasmas Paris 6 2016", note = "2016PA066278", url = "http://www.theses.fr/2016PA066278/document", }