TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2016LIL10034
TI  - Conception de BioMEMS assistée par plasma froid : nouvelles approches
AU  - Belhacene, Kalim
A3  - Supiot, Philippe; Froidevaux, Rénato
PY  - 2016
N1  - Thèse de doctorat Micro et Nanotechnologie, Acoustique et Télécommunication Lille 1 2016
N1  - 2016LIL10034
UR  - http://www.theses.fr/2016LIL10034/document
ER  -