TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2016BORD0116
TI  - CVD du carbure de silicium à partir du système SiHxCl4-x/CyHz/H2 : étude expérimentale et modélisation
AU  - Laduye, Guillaume
A3  - Vignoles, Gérard Louis; Chollon, Georges
PY  - 2016
N1  - Thèse de doctorat Physico-chimie de la matière condensée Bordeaux 2016
N1  - 2016BORD0116
UR  - http://www.theses.fr/2016BORD0116/document
ER  -