TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2015USPCD013
TI  - Modélisation des plasmas micro-ondes utilisés pour le dépôt de diamant intrinsèque ou dopé au bore
AU  - Salem, Rania
A3  - Gicquel, Alix; Rond, Catherine
PY  - 2015
N1  - Thèse de doctorat Génie des procédés Sorbonne Paris Cité 2015
N1  - 2015USPCD013
ER  -