Thèse soutenue

Couches d'alumine épaisses de nanomètre déposées par ALD sur métaux : une étude d'analyse électrochimique et superficielle comparative de propriétés de corrosion
FR  |  
EN
Accès à la thèse
Auteur / Autrice : Shadi Mirhashemihaghighi
Direction : Philippe MarcusVincent Maurice
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Chimie Physique et Chimie Analytique
Date : Soutenance le 17/07/2015
Etablissement(s) : Paris 6
Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale Chimie physique et chimie analytique de Paris Centre (Paris ; 2000-....)
Partenaire(s) de recherche : Laboratoire : Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Paris
Jury : Examinateurs / Examinatrices : Hans-Henning Strehblow, Bernard Normand, Lorenzo Fedrizzi, Isabelle Frateur

Mots clés

FR  |  
EN

Mots clés contrôlés

Résumé

FR  |  
EN

La protection contre la corrosion par des films ultramince (≤50 nm) d'alumine déposées par ALD sur le cuivre et l'aluminium à 250°C a été étudiée dans une solution aqueuse 0,5 M de NaCl en combinant méthodes d'analyse électrochimique et de surface. L'étude de l'alumine ALD sur un substrat Cu comprend l'effet de l'épaisseur du revêtement, l'effet de l'oxyde interfacial, l'effet de la préparation de la surface et la durabilité du revêtement. Pour le substrat Al, le travail a porté sur l'examen de l'effet de l'épaisseur du revêtement. Les revêtements ont montré d'excellentes propriétés de corrosion sur des substrats Cu électropoli, tandis qu'ils ont échoué à protéger le substrat recuit, de fait d'une mauvaise adhérence à une surface lissée. L'amélioration de la résistance à la corrosion d'alumine ALD sur le substrat Cu est obtenue en l'absence de vieillissement de l'oxyde natif interfacial, et sa modification par un prétraitement. En dépit de remarquables propriétés d'étanchéité sur un substrat Cu électropoli, la protection contre la corrosion de l'alumine ALD n'est pas durable. Le revêtement du substrat Al avec l'alumine ALD conduit à l'augmentation significative de la résistance à la corrosion. Le potentiel de piqûration est augmenté en présence des revêtements l'épaisseur de 20 et 50 nm, ce qui n'a pas été obtenus avec 10 nm en raison de sa faible épaisseur. Cette étude est une étude préliminaire pour l'application de revêtements d'alumine ALD pour la protection contre la corrosion des alliages Al-Cu en combinaison avec d'autres compositions ALD.