TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2015GREAT011
TI  - Modélisation des procédés pour la correction des effets de proximity en lithographie électronique
AU  - Figueiro, Thiago Rosa
A3  - Tortai, Jean-Hervé; Schiavone, Patrick
PY  - 2015
N1  - Thèse de doctorat Nanoélectronique et nanotechnologie Université Grenoble Alpes (ComUE) 2015
N1  - 2015GREAT011
ER  -