Microscopie tomographique diffractive et profilométrie multivue à haute résolution

par Hui Liu

Thèse de doctorat en Traitement du signal

Sous la direction de Olivier Haeberlé.

Soutenue le 27-06-2014

à Mulhouse , dans le cadre de École Doctorale Jean-Henri Lambert , en partenariat avec Modélisation intelligence processus systèmes (Mulhouse) (laboratoire) et de Laboratoire Modélisation Intelligence Processus Systèmes (laboratoire) .


  • Résumé

    Nous avons développé un microscope tomographique diffractif en réflexion, qui permet d’observer la surface d’un échantillon avec une résolution latérale améliorée comparée à un microscope holographique conventionnel. À partir des même données expérimentales (les hologrammes acquis sous différents angles d’illumination), des mesures à haute précision longitudinale peuvent être réalisées sur la surface d’un échantillon purement réfléchissant, par reconstruction du profil de hauteur à partir de la phase. Cette méthode d’imagerie multimodale présente plusieurs avantages comparée aux mesures en holographie interférométrique classique : amélioration de la résolution latérale sur la partie diffractive, déroulement de phase facilité, réduction du bruit cohérent, l’ensemble étant associé à la grande précision longitudinale fournie par les mesures de phase. Nous montrons ces possibilités en imageant divers échantillons minces.

  • Titre traduit

    Tomographic diffractive microscopy and multiview profilometry with high resolution


  • Résumé

    We have developed a tomographic diffractive microscope in reflection, which permits observation of sample surfaces with an improved lateral resolution, compared to a conventional holographic microscope. From the same set of data, high-precision measurements can be performed on the shape of the reflective surface by reconstructing the phase of the diffracted field. doing so allows for several advantages compared to classical holographic interferometric measurements: improvement in lateral resolution, easier phase unwrapping, reduction of the coherent noise, combined with the high-longitudinal precision provided by interferometric phase measurements. We demonstrate these capabilities by imaging various test samples.


Il est disponible au sein de la bibliothèque de l'établissement de soutenance.

Autre version

Cette thèse a donné lieu à une publication en 2014 par Université de Haute Alsace [diffusion/distribution] à Mulhouse

Microscopie tomographique diffractive et profilométrie multivue à haute résolution


Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Haute-Alsace (Mulhouse). Service Commun de Documentation.
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.
Cette thèse a donné lieu à 1 publication .

Consulter en bibliothèque

Cette thèse a donné lieu à une publication en 2014 par Université de Haute Alsace [diffusion/distribution] à Mulhouse

Informations

  • Sous le titre : Microscopie tomographique diffractive et profilométrie multivue à haute résolution
  • Détails : 1 vol. (129p.)
La version de soutenance de cette thèse existe aussi sous forme papier.

Où se trouve cette thèse ?

Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.