TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2013CLF22367
TI  - Couches minces d’oxynitrure de tantale déposées par pulvérisation réactive. Étude du système Ta-Ar-O2-N2 et caractérisation des films
AU  - Zoubian, Fadi
A3  - Tomasella, Eric; Bousquet, Angélique
PY  - 2013
N1  - Thèse de doctorat Chimie, Sciences des Matériaux Clermont-Ferrand 2 2013
N1  - 2013CLF22367
UR  - http://www.theses.fr/2013CLF22367/document
ER  -