Etude de la variabilité en technologie FDSOI : du transistor aux cellules mémoires SRAM

par Jérôme Mazurier

Thèse de doctorat en Sciences et technologie industrielles

Sous la direction de Marc Belleville.

Soutenue le 24-10-2012

à Grenoble , dans le cadre de École doctorale électronique, électrotechnique, automatique, traitement du signal (Grenoble) , en partenariat avec Institut de la Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (équipe de recherche) .

Le président du jury était Gérard Ghibaudo.

Le jury était composé de Marc Belleville, Adrian Ionescu, Olivier Weber, Michel Haond, Liviu Militaru.

Les rapporteurs étaient Amara Amara, Jean-luc Autran.


  • Résumé

    La miniaturisation des transistors MOSFETs sur silicium massif présente de nombreux enjeux en raison de l'apparition de phénomènes parasites. Notamment, la réduction de la surface des dispositifs entraîne une dégradation de la variabilité de leurs caractéristiques électriques. La technologie planaire totalement désertée, appelée communément FDSOI (pour Fully Depleted Silicon on Insulator), permet d'améliorer le contrôle électrostatique de la grille sur le canal de conduction et par conséquent d'optimiser les performances. De plus, de par la présence d'un canal non dopé, il est possible de réduire efficacement la variabilité de la tension de seuil des transistors. Cela se traduit par un meilleur rendement et par une diminution de la tension minimale d'alimentation des circuits SRAM (pour Static Random Access Memory). Une étude détaillée de la variabilité intrinsèque à cette technologie a été réalisée durant ce travail de recherche, aussi bien sur la tension de seuil (VT) que sur le courant de drain à l'état passant (ISAT). De plus, le lien existant entre la fluctuation des caractéristiques électriques des transistors et des circuits SRAM a été expérimentalement analysé en détail. Une large partie de cette thèse est enfin dédiée à l'investigation de la source de variabilité spécifique à la technologie FDSOI : les fluctuations de l'épaisseur du film de silicium. Un modèle analytique a été développé durant cette thèse afin d'étudier l'influence des fluctuations locales de TSi sur la variabilité de la tension de seuil des transistors pour les nœuds technologiques 28 et 20nm, ainsi que sur un circuit SRAM de 200Mb. Ce modèle a également pour but de fournir des spécifications en termes d'uniformité σTsi et d'épaisseur moyenne µTsi du film de silicium pour les prochains nœuds technologiques.

  • Titre traduit

    Variability study in Planar FDSOI technology : From transistors to SRAM cells


  • Résumé

    The scaling of bulk MOSFETs transistors is facing various difficulties at the nanometer era. The variability of the electrical characteristics becomes a major challenge which increases as the device dimensions are scaled down. Fully-Depleted Silicon On Insulator (FDSOI) technology, developed as an alternative to bulk transistors, exhibits a better electrostatic immunity which enables higher performances. Moreover, the reduction of the Random Dopant Fluctuation allows excellent variability immunity for the FDSOI technology due to its undoped channel. It leads to a yield enhancement and a reduction of the minimum supply voltage of SRAM circuits. The variability has been analyzed deeply during this thesis in this technology, both on the threshold voltage (VT) and on the ON-state current (ISAT). The correlation between the electrical characteristics of MOSFETs devices (i.e., the threshold voltage and the standard deviation σVT) and SRAM cells (i.e., the SNM and σSNM) has been investigated thanks to an extensive experimental study and modeling. This purpose of this thesis is also to analyze the specific FDSOI variability source: silicon thickness fluctuations. An analytical model has been developed in order to quantify the impact of local TSi variations on the VT variability for 28 and 20nm technology nodes, as well as on a 200Mb SRAM array. This model also enables to evaluate the silicon thickness mean (µTsi) and standard deviation (σTsi) specifications for next technology nodes.


Il est disponible au sein de la bibliothèque de l'établissement de soutenance.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Service Interétablissement de Documentation. LLSH Collections numériques.
  • Bibliothèque : Université Savoie Mont Blanc (Chambéry-Annecy). Service commun de la documentation et des bibliothèques universitaires. Bibliothèque électronique.
  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation. STM. Collections numériques.
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.