Etude de la fiabilité des technologies CMOS avancées, depuis la création des défauts jusqu'à la dégradation des transistors

par Yoann Mamy Randriamihaja

Thèse de doctorat en Micro et Nano Electronique

Sous la direction de Alain Bravaix.

Le président du jury était Gérard Ghibaudo.

Le jury était composé de Alain Bravaix, Gérard Ghibaudo, François Marc, Lorena Anghel.

Les rapporteurs étaient François Marc, Lorena Anghel.


  • Résumé

    L'étude de la fiabilité représente un enjeu majeur de la qualification des technologies de l'industrie de la microélectronique. Elle est traditionnellement étudiée en suivant la dégradation des paramètres des transistors au cours du temps, qui sert ensuite à construire des modèles physiques expliquant le vieillissement des transistors. Nous avons fait le choix dans ces travaux d'étudier la fiabilité des transistors à l'échelle microscopique, en nous intéressant aux mécanismes de ruptures de liaisons atomiques à l'origine de la création des défauts de l'oxyde de grille. Nous avons tout d'abord identifié la nature des défauts et modéliser leurs dynamiques de capture de charges afin de pouvoir reproduire leur impact sur des mesures électriques complexes. Cela nous a permis de développer une nouvelle méthodologie de localisation des défauts, le long de l'interface Si-SiO2, ainsi que dans le volume de l'oxyde. La mesure des dynamiques de créations de défauts pour des stress de type porteurs chauds et menant au claquage de l'oxyde de grille nous a permis de développer des modèles de dégradation de l'oxyde, prédisant les profils de défauts créés à l'interface et dans le volume de l'oxyde. Nous avons enfin établi un lien précis entre l'impact de la dégradation d'un transistor sur la perte de fonctionnalité d'un circuit représentatif du fonctionnement d'un produit digital.L'étude et la modélisation de la fiabilité à l'échelle microscopique permet d'avoir des modèles plus physiques, offrant ainsi une plus grande confiance dans les extrapolations de durées de vie des transistors et des produits.


  • Résumé

    Reliability study is a milestone of microelectronic industry technology qualification. It is usually studied by following the degradation of transistors parameters with time, used to build physical models explaining transistors aging. We decided in this work to study transistors reliability at a microscopic scale, by focusing on atomic-bond-breaking mechanisms, responsible of defects creation into the gate-oxide. First, we identified defects nature and modeled their charge capture dynamics in order to reproduce their impact on complex electrical measurements degradation. This has allowed us developing a new methodology of defects localization, along the Si/SiO2 interface, and in the volume of the gate-oxide. Defects creation dynamics measurement, for Hot Carrier stress and stress conditions leading to the gate-oxide breakdown, has allowed us developing gate-oxide degradation models, predicting generated defect profiles at the interface and into the volume of the gate-oxide. Finally, we established an accurate link between a transistor degradation impact on circuit functionality loss.Reliability study and modeling at a microscopic scale allows having more physical models, granting a better confidence in transistors and products lifetime extrapolation.


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