Caractérisation physico-chimique et optique de miroirs multicouches pour le domaine EUV

par Minhui Hu

Thèse de doctorat en Chimie - Physique

Sous la direction de Philippe Jonnard.

Soutenue en 2011

à Paris 6 .


  • Résumé

    Le domaine du rayonnement extrême ultraviolet (EUV) offre de grandes possibilités scientifiques et technologiques en photolithographie, en astrophysique, en spectrométrie de photoélectron, etc. Ainsi, de nombreux miroirs multicouches sont développés pour fonctionner dans ce domaine spectral, qui joue un rôle important pour les applications optiques. L'objectif de ce travail est de concevoir, réaliser, caractériser et proposer des multicouches (Mg/Co, Al/SiC,. . . ). Puis le but est d’appliquer une méthode capable de distinguer entre interdiffusion et rugosité géométrique afin de corréler les performances optiques de la multicouche à sa qualité structurale. Nous proposons de caractériser les miroirs multicouches en employant une méthodologie combinant plusieurs techniques (Spectroscopie d’émission X, Réflectométrie EUV,. . . ). La combinaison de ces méthodes permet d’obtenir une description chimique et structurale de l’empilement multicouche et de comprendre les phénomènes prenant place aux interfaces. Il est en effet important de connaître les phénomènes interfaciaux, comme la formation de composés ou le développement de la rugosité, car ils gouvernent les propriétés optiques des multicouches

  • Titre traduit

    Physico-chemical and optical characterization of multilayer mirrors for the EUV domain


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Informations

  • Détails : 1 vol. (160 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 123-124. 25 réf. bibliogr.

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  • Cote : T Paris 6 2011 316

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