Commutateurs MEMS et leurs applications aux filtres accordables fort Q

RF MEMS switches and their applications to high Q filters

• Auteur / Autrice : Romain Stefanini
• Direction : Matthieu Chatras, Pierre Blondy
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Electronique des Hautes Fréquences et Optoélectronique
• Date : Soutenance en 2011
• Etablissement(s) : Limoges
• Partenaire(s) de recherche : autre partenaire : Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques

Mots clés

Mots clés contrôlés

Filtres adaptatifs

Systèmes microélectromécaniques

Résumé

Les systèmes de télécommunications actuels proposent de plus en plus de fonctionnalités ce qui rend leurs architectures électroniques plus complexes et plus encombrantes. Pour palier ce problème, il est proposé d'intégrer des composants reconfigurables, capables de s'adapter à la fréquence de travail de chaque application. Les MEMS RF (Micro Electro-Mechanical Systems) garantissent cette agilité en fréquence au même titre que les composants semi-conducteurs mais présentent de meilleures performances et ne consomment pas de puissance. Dans le cadre de cette thèse, il est présenté la conception et la réalisation de commutateurs MEMS RF et leur intégration dans des filtres afin de les rendre accordables.

Today telecommunication systems are proposing more and more functionality leading to more bulky and more complex electronic architectures. In order to solve this problem, it has been proposed to integrate reconfigurable components able to adapt to the application frequency. As for solid state devices, RF MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) guarantee this frequency agility but are presenting better performances and have lower power consumption. In this thesis, the design and fabrication of RF MEMS switches and their integration into filters in order to make them tuneable, is presented.