TY - THES DP - http://www.theses.fr/2011LIL10170 TI - Etude, conception et réalisation de transitions verticales coaxiales pour une intégration hétérogène 3D de microsystèmes en gamme millimétrique AU - Crunelle, Romain A3 - Haese-Rolland, Nathalie PY - 2011 N1 - Thèse de doctorat Microondes et Microtechnologies Lille 1 2011 N1 - 2011LIL10170 UR - http://www.theses.fr/2011LIL10170/document ER -