Mécanismes de collage direct de films de silicium polycristallin

par Romain Feilleux

Thèse de doctorat en Matériaux, mécanique, génie civil, électrochimie

Sous la direction de François Rieutord.

Le président du jury était Hubert Renevier.

Le jury était composé de François Rieutord, Stéphanie Escoubas, Hubert Moriceau.

Les rapporteurs étaient Jean Camassel, Jérémie Grisolia.


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  • Titre traduit

    Study of polysilicon thin films molecular bonding mechanisms


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