TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2011GRENI026
TI  - Effet getter de multicouches métalliques pour des applications MEMS. Etude de la relation Elaboration - Microstructure - Comportement
AU  - Tenchine, Lionel
A3  - Faure, Christel; Baillin, Xavier
PY  - 2011
N1  - Thèse de doctorat Matériaux, mécanique, génie civil, électrochimie Grenoble 2011
N1  - 2011GRENI026
UR  - http://www.theses.fr/2011GRENI026/document
ER  -