Simulation et optimisation du transport automatise dans la fabrication de semi-conducteurs.

par Téwendé Jean-Etienne Arthur Kiba

Thèse de doctorat en Génie Industriel

Sous la direction de Stéphane Dauzère-Pérès.

Soutenue le 10-11-2010

à Saint-Etienne, EMSE , dans le cadre de ED SIS 488 .

Le président du jury était Dominique Feillet.

Le jury était composé de Christian Artigues, Gilles Lamiable, Galliam Claude Yugma.

Les rapporteurs étaient Pierre Castagna, Christian Prins, Olivier Rose.


  • Résumé

    Composants essentiels de tout ordinateur, les semi-conducteurs sont utilisés dans de nombreux secteurs. Les percées technologiques dans ce domaine imposent un rythme vertigineux aux industriels. Tous les deux ans environ, la capacité des puces est doublée et leur prix est divisé par deux. Le diamètre des plaquettes de silicium augmente et, regroupées en lots, les plaquettes sont plus lourdes à transporter. Les systèmes automatiques de transport (AMHS) se présentent comme une excellente alternative. Le prix très élevé des équipements de production fait que l’objectif est de saturer les capacités de production. Pour y parvenir, il est important que le système de transport et de stockage garantisse que les machines n’attendent pas des lots disponibles, et aussi que les lots n’attendent pas une machine disponible.Dans la littérature, la complexité du problème (jusqu’à 700 étapes de fabrication, flux réentrants, etc.) fait que les études de modélisation du transport se font avec de fortes hypothèses sur la production ou inversement. Pourtant, le transport est un service pour la production. Cette thèse propose une approche de modélisation permettant d'intégrer le plus fidèlement possible les contraintes de transport, production et stockage, afin d'améliorer les indicateurs clés de la production. Une analyse détaillée du système a permis de construire un modèle de simulation à événements discrets. Enfin, après une validation industrielle, l'étude complète du modèle a permis d'analyser les paramètres critiques de gestion du transport. Les résultats permettent une meilleure compréhension du système et mettent en exergue d'intéressantes perspectives de recherche.

  • Titre traduit

    Simulating and Optimizing Automated Transportation in Semiconductor Manufacturing


  • Résumé

    Essential components of all computers, semiconductors are widely used in many sectors. Quick advances in these technologies force a challenging rhythm to manufacturers. Following the Moore’s Law, chip capacity doubles approximately every two years and prices are divided by two. Thus, the increase of the diameter of wafers to 300 mm makes them heavier to transport in lots. Automated Material Handling Systems (AMHS) are an excellent alternative to tackle this problem. Because of the high price of production equipment, the goal is to use production capacity as much as possible while avoiding to keep too much inventory. To reach this goal, it is important that the transportation and storage system ensures that machines do not wait for available lots, and also that lots do not wait for available machines. In the literature, due to the problem complexity (up to 700 steps, re-entrant flows, etc.), the modeling of transportation is made with strong assumptions on the production or vice-versa. However, transport is a service for production. This thesis aims at providing a modeling approach that allows the integration in details transport, production and storage constraints, in order to improve production key indicators. A detailed understanding of the system allows us to build of a discrete event simulation model which is, in our point of view, the best compromise between the necessary level of details and computational times. Finally, through industrial validations, the complete study of the model allows critical parameters of transport management to be analyzed. The results help to get a better understanding of the system and open interesting research perspectives.


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