Étude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie : application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide

par Christophe Castille

Thèse de doctorat en Electronique

Sous la direction de Mario Maglione et de Claude Lucat.

Le jury était composé de Stephen Heinrich, Alain Bosseboeuf, Daniel Guyomar, Isabelle Dufour Dabadie.

Les rapporteurs étaient Eric Cattan, Christophe Pijolat.


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